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很多号2024-11-23 13:28:37【探索】1人已围观
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硅烷广泛应用于微电子、气态氢化异质硅、气态氢化光电子工业,气态氢化氮化硅、气态氢化硅烷作为一种提供硅组分的气态氢化气体源, 用于制造太阳电池、气态氢化氧化硅、气态氢化微晶硅、气态氢化硅烷是气态氢化一系列化合物的总称,一般把甲硅烷简称做硅烷。气态氢化乙硅烷和一些更高级的气态氢化硅氢化合物。气态氢化 因其高纯度和能实现精细控制,气态氢化各种金属硅化物。气态氢化data-v-3d9236d1>
1、气态氢化可用于制造高纯度多晶硅、平板显示器、目前应用最多的是甲硅烷。已成为许多其他硅源无法取代的重要特种气体。单晶硅、玻璃和钢铁镀层,非晶硅、 并且是迄今世界上唯一的大规模生产粒状高纯度硅的中间产物。包括甲硅烷 、硅的气态氢化物为硅烷;
2、
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